表面電阻測試儀的測試原理和操作注意事項
一，表面電阻測試儀測試原理:
    四根金屬探針排成一條直線，并以一定壓力壓在半導體材料上時，在1，4兩根探針間通過電流I，則2，3探針間產生電位差V。
根據公式可計算出材料的電阻率: 其中，C為四探針的探針系數（cm），它的大小取決于四根探針的排列方法和針距。
    二，表面電阻測試儀的儀器操作:濕度傳感器探頭, ,不銹鋼電熱管 PT100傳感器, ,鑄鋁加熱器,加熱圈  流體電磁閥

（一）測試前的準備:
1，將電源插頭插入儀器背面的電源插座，電源開關置于斷開位置;
2，工作方式開關置于"短路"位置，電流開關處于彈出位置;
3，將手動測試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好;
4，對測試樣品進行一定的處理（如噴沙，清潔等）;
5，調節室內溫度及濕度使之達到測試要求。
（二）測試:
    首先將電源開關置于開啟位置，測量選擇開關置于"短路"，出現數字顯示，通電預熱半小時。
1，放好樣品，壓下探頭，將測量選擇開關置于"測量"位置，極性開關置于開關上方;
2，選擇適當的電壓量程和電流量程，數字顯示基本為"0000"，若末位有數字，可旋轉調零調節旋鈕使之顯示為"0000";
3，將工作方式開關置于"I調節"，按下電流開關，旋動電流調節旋鈕，使數字顯示為"1000"，該值為各電流量程的滿量程值;
4，再將極性開關壓下，使數顯也為1000±1，退出電流開關，將工作方式開關置于1或6。28處（探頭間距為1。59mm時置于1位置，間距為1mm時置于6。28位置）;
（調節電流后，上述步驟在以后的測量中可不必重復;只要調節好后，按下電流開關，可由數顯直接讀出測量值。）
5，若數顯熄滅，僅剩"1"，表示超出該量程電壓值，可將電壓量程開關撥到更**;
6，讀數后，將極性開關撥至另一方，可讀出負極性時的測量值，將兩次測量值取平均數即為樣品在該處的電阻率值。
    三，表面電阻測試儀的注意事項:
1，壓下探頭時，壓力要適中，以免損壞探針;
2，由于樣品表面電阻可能分布不均，測量時應對一個樣品多測幾個點，然后取平均值;
3，樣品的實際電阻率還與其厚度有關，還需查附錄中的厚度修正系數，進行修正。