SF6純度分析儀檢測六氟化硫的制備
工業上制備六氟化硫主要采用氣體或熔融態的硫磺與氟直接反應的方法，也可導用硫或其化合物與氟一起通入氟化鈷反應器的化學反應法。可使用SF6純度分析儀用于測量SF6與空氣、SF6與N2混合氣體的SF6氣體純度（百分含量）。
1、 直接反應法
由于氟具有很強的反應能力，它能與硫直接反應。通常，氟與硫的直接反應讓硫在反應器內保持熔融狀態，溫度為120℃~140℃，然后通入氟氣，使之與硫表面蒸發的硫蒸汽在溫度為150℃~210℃的條件下發生反應，生成六氟化硫。此方法易使氟反應完全，也可盡量減少各種有毒的副產物的生成，從而得到純度較高的六氟化硫。反應過程中所需的氟氣應由無水氟化氫電解制得，同時，硫與氟反應按一定的比例進行反應，并力求氟氣稍過量。由于是放熱反應（△H=-1097KJ/mol）,對反應器的結構設計，必須考慮周全，應能保證及時導出迅速爆發反應所產生的大量反應熱。
為了有效控制反應熱，可以采用兩步反應完成六氟化硫的制備。即在**反應器（槽型反應器）的底部貯存熔融狀態的硫，氟氣的供給方向與其垂直，通過冷卻反應器的外部，來保持反應硫的溫度為150~160℃。再把含有約5%未反應氟氣的反應生成氣冷卻至室溫，連續導入裝有粉末狀硫磺，且外部用水冷卻的**反應器。（固定床式水平管型反應器內），完成全部六氟化硫的生成。
2、 氧化鈷法
本法是把硫或其他化合物與氟一起通入裝有三氟化鈷（CoF3）和二氟化鈷（CoF2）混合物的反應器中，在100℃以上進行反應，連續制備六氟化硫。當用硫或硫化氫作原料時，發生如下反應濕度傳感器探頭, ,不銹鋼電熱管 PT100傳感器, ,鑄鋁加熱器,加熱圈 流體電磁閥
：
S+6CoF3→SF6+CoF2
H2S+8CoF3→SF6+2HF+8CoF2
此外，還可以用其他硫化物（如S2Cl2、SCl2）等作原料。反應時CoF3失去一個氟原子轉變成CoF2，后者是固體，留在反應器中與進料中的氟原子反應又生成CoF3，繼續參加反應。開始時CoF3可由CoCl2在300℃時用無水氯化氫制取，而CoF2、CoCl2或Co2O3制得。當硫的低氟化物，如S2F10、SF4、SF2、S2F2等與CoF3反應時，也只生成六氟化硫，其反應如下
SF4+2CoF3→SF6+2CoF2
利用上述反應，可將直接反應法制得的粗六氟化硫產品與CoF3接觸，使其中所含的各種低氟化物及游離硫等雜質完全轉化為六氟化硫，從而得到很純的六氟化硫產品。SF6純度分析儀主要用于檢測SF6瓶氣及SF6開關等設備中的SF6氣體純度（百分含量）。
