1.力反饋式電液伺服閥

　　該閥由力矩馬達、雙噴嘴擋板閥前置級和功率級滑閥組成，由反饋桿以位置力反饋方式在力矩馬達進行比較和綜合的。

　　當銜鐵受到電磁力作用時，將和擋板一起以彈簧管中的某一點為支點偏轉。彈簧管起到隔離和扭簧的作用，一則可防止油液進入力矩馬達，以避免油液對鐵粉的影響;二則抑制力矩馬達的負彈簧剛度，使力矩馬達穩定受控工作。壓力油液除經主滑閥進入執行元件外，還經固定節流孔到主滑閥兩端，再經過兩個噴嘴和檔板形成的間隙后回油，這就是液壓前置放大器的回路。濕度傳感器探頭, ,不銹鋼電熱管 PT100傳感器, ,鑄鋁加熱器,加熱圈  流體電磁閥

　　當線圈中沒有電磁力作用時，擋板處于中位，主滑閥兩端壓力相等，主滑閥處于中間零位。

　　如果在電磁力作用下，擋板順時針偏轉，右噴嘴間隙增加，左噴嘴間隙縮小，使得Pv1>Pv2，主滑閥向右運動。在主滑閥運動的同時，通過擋板下端的彈簧桿(反饋桿)，又使擋板逆時針偏轉，使主滑閥兩端的壓差減小(這就是所謂力反饋)。在某一位置上，主滑閥通過彈簧桿擋板的力矩，主滑閥不再運動。主滑閥將得到與電磁力矩相對應的位移，從而使主滑閥的閥芯位移量(對零開口閥就是閥的開口量)受線圈電流的控制。

　　可見，閥芯位移量與電流成正比，負載流量也與電流成正比。

　　這種形式的電液伺服閥動態性能好，體積小，得到廣泛應用。由于閥的精度比較高，擋板與噴嘴間距離很小，僅百分之幾毫米，閥芯與閥套徑向間隙為幾微米，因此對油的清潔度要求高，抗污染性能較差，價格也較昂貴。

　　2.電反饋式大流量工業伺服閥

　　這種閥也稱廉價伺服閥。這種可用于控制位置、速度或負載力，特別適合于高速和大推力的場合。

　　功率級滑閥的閥芯位置由位移傳感檢測，由集成電路提供傳感器，激磁電壓閥調制其輸出電壓;反饋到放大器輸入端環繞功率級滑閥形成位置閉環。即當相應于閥芯某期望位置的電信號輸入放大器后，推動力矩馬達，使擋板移動，改變噴嘴與擋板間距離而形成主閥芯兩端壓力差，主閥芯移動并帶動位移傳感器運動，傳感器將檢測到的位移信號轉換成電量，反饋到放大器并與輸入信號相比較，直到給定的電信號與反饋信號相等時主閥芯停止運動。因此主閥芯的位置與電信號成比例關系。

　　這種電反饋的閥由于取消了力反饋環，可消除由于反饋桿球頭和與之配合的閥芯槽的間隙影響，使滯環減小，靈敏度及壽命提高。

　　3.直接位置反饋式電液伺服閥

　　閥的**級的兩個噴嘴直接安裝在**級的閥芯上。當控制電流通過力矩馬達使擋板左移時，滑閥右端壓力增加，左端壓力降低，閥芯左移。此時兩個噴嘴也隨閥芯向左移動，使擋板又逐漸處于兩個噴嘴之中點，閥芯也就停止運動，這樣保證了閥芯的位移與控制電流成比例。

　　由于噴嘴直接安裝在閥芯上，閥芯運動與擋板是一致的，反饋比是1：1。由于反饋回路只包含液壓放大器一個環節，因此頻帶寬可能優于力反饋式伺服閥。

　　另外還有動圈式電液伺服閥，對油液過濾精度要求較低，但此閥外形尺寸大，響應慢。